實(shí)驗(yàn)室里的攻堅(jiān)戰(zhàn)------------------------------------------，林辰就知道，平靜的日子已經(jīng)結(jié)束了。英特芯科技不會(huì)善罷甘休，而他必須在對(duì)方動(dòng)手之前，拿出實(shí)實(shí)在在的成果。，張敬華已經(jīng)召集了所有能調(diào)動(dòng)的人手。實(shí)驗(yàn)室里燈火通明，十幾名研究生和年輕教師圍在一臺(tái)老舊的滬光精密28nm DUV光刻機(jī)前，臉上滿是興奮又忐忑的神情。“林辰，設(shè)備和材料我都給你湊齊了。”張敬華指著角落里堆放的箱子，聲音有些沙啞，“光刻機(jī)是十年前的老型號(hào)，精度勉強(qiáng)能達(dá)到要求。光刻膠是南大光電最新量產(chǎn)的ArF干式光刻膠，國(guó)產(chǎn)的，純度比**的差一點(diǎn)，但湊合用。大硅片是滬硅產(chǎn)業(yè)的12英寸片，良率大概85%。其他材料也都是國(guó)產(chǎn)替代的，能弄到的最好的了。”，心里清楚這已經(jīng)是張敬華能做到的極限。2025年的華夏，高端半導(dǎo)體材料幾乎全部依賴進(jìn)口。星聯(lián)合眾國(guó)的制裁令剛下，**和歐洲的供應(yīng)商就已經(jīng)停止了供貨，就連最基礎(chǔ)的電子特氣都變得一票難求。“張教授，謝謝您?！绷殖洁嵵氐鼐狭艘还?，“有這些就夠了。夠不夠，不是我說(shuō)了算，是實(shí)驗(yàn)結(jié)果說(shuō)了算?！睆埦慈A拍了拍他的肩膀，“我已經(jīng)跟學(xué)校申請(qǐng)了，這個(gè)實(shí)驗(yàn)室從今天起歸你全權(quán)指揮。所有人都聽(tīng)你的安排，包括我?！?，實(shí)驗(yàn)室變成了戰(zhàn)場(chǎng)。林辰制定了嚴(yán)格的作息表，所有人分成三班倒，24小時(shí)不間斷工作。他自己更是吃住都在實(shí)驗(yàn)室，每天只睡三個(gè)小時(shí)。。用DUV光刻機(jī)實(shí)現(xiàn)5nm制程，需要采用自對(duì)準(zhǔn)四重圖形化技術(shù)（SAQP），這意味著同樣的圖案要經(jīng)過(guò)四次光刻、四次刻蝕、四次清洗才能完成。任何一個(gè)環(huán)節(jié)出現(xiàn)0.1納米的誤差，整個(gè)晶圓就會(huì)報(bào)廢。。老舊的光刻機(jī)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)精度不夠，第一次曝光后，套刻誤差達(dá)到了5納米，遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過(guò)了5nm制程允許的1納米上限?！安恍?，誤差太大了?！碧K晚晴盯著屏幕上的檢測(cè)數(shù)據(jù)，眉頭緊鎖。她是張敬華特意從華夏芯制造借調(diào)過(guò)來(lái)的工藝工程師，有著豐富的流片經(jīng)驗(yàn)，“這臺(tái)設(shè)備的機(jī)械結(jié)構(gòu)已經(jīng)老化了，再怎么校準(zhǔn)也達(dá)不到要求?！?。沒(méi)有高精度的光刻機(jī)，一切理論都是空談。，他走到光刻機(jī)前，仔細(xì)觀察著每一個(gè)部件。過(guò)了足足一個(gè)小時(shí)，他突然開(kāi)口道：“把光刻機(jī)的光源功率降低15%，曝光時(shí)間延長(zhǎng)20%。然后修改掩膜版的補(bǔ)償參數(shù)，加入0.3納米的預(yù)偏移量。這怎么行？”蘇晚晴立刻反對(duì)，“降低光源功率會(huì)導(dǎo)致光刻膠曝光不足，延長(zhǎng)曝光時(shí)間又會(huì)增加衍射效應(yīng)，只會(huì)讓誤差更大！相信我。”林辰的眼神無(wú)比堅(jiān)定，“我計(jì)算過(guò)，這臺(tái)設(shè)備的光學(xué)系統(tǒng)有一個(gè)特殊的像差特性。降低功率和延長(zhǎng)時(shí)間，正好可以抵消這個(gè)像差。再加上預(yù)偏移補(bǔ)償，套刻誤差能控制在0.8納米以內(nèi)?！?。當(dāng)?shù)诙纹毓馔瓿珊?，檢測(cè)數(shù)據(jù)出來(lái)了——套刻誤差0.76納米。
實(shí)驗(yàn)室里爆發(fā)出一陣歡呼。蘇晚晴看著林辰的背影，眼神里充滿了敬佩。她終于明白，為什么這個(gè)年輕的博士生能提出那樣驚世駭俗的理論。他對(duì)光刻機(jī)的理解，已經(jīng)超越了這個(gè)時(shí)代的所有人。
然而，困難接踵而至。國(guó)產(chǎn)光刻膠的分辨率不足，導(dǎo)致刻蝕后的線邊緣粗糙度（LER）達(dá)到了3.5納米，比**產(chǎn)品高出一倍多。這會(huì)直接導(dǎo)致芯片漏電流增加，功耗上升20%以上。
林辰帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)連續(xù)攻關(guān)了三天三夜，終于找到了一個(gè)解決方案。他們?cè)诠饪棠z中加入了一種特殊的納米添加劑，同時(shí)優(yōu)化了顯影工藝，將LER降低到了2.2納米。雖然還是比EUV工藝的1納米差，但已經(jīng)滿足了5nm制程的基本要求。
在所有人都在為攻克一個(gè)個(gè)技術(shù)難題而歡呼的時(shí)候，角落里一個(gè)身影的眼神卻越來(lái)越陰冷。
陳斌站在人群后面，看著被眾人簇?fù)淼牧殖?，拳頭攥得咯咯作響。他比林辰早三年讀博，是張敬華最得意的門(mén)生之一。原本這次博士畢業(yè)，他已經(jīng)拿到了聯(lián)芯國(guó)際的高薪offer，前途一片光明。可林辰的出現(xiàn)，搶走了所有人的關(guān)注，也讓他變得一文不值。
“等著吧，林辰。”陳斌在心里惡狠狠地說(shuō)道，“你不會(huì)得意太久的。”
他悄悄拿出手機(jī)，給王海濤發(fā)了一條短信：“一切順利，他們已經(jīng)進(jìn)入刻蝕環(huán)節(jié)了。我會(huì)找機(jī)會(huì)拿到完整的工藝參數(shù)?！?br>手機(jī)屏幕亮起，回復(fù)只有兩個(gè)字：“盡快。”
此時(shí)，距離流片開(kāi)始已經(jīng)過(guò)去了七天七夜。第一批12片晶圓終于完成了所有的工藝步驟，進(jìn)入了最后的測(cè)試環(huán)節(jié)。
所有人都圍在探針臺(tái)周?chē)?，屏住了呼吸。林辰深吸一口氣，將探針輕輕放在了第一片晶圓上。
屏幕上，測(cè)試數(shù)據(jù)開(kāi)始跳動(dòng)。
(**章完)